WF6 главно се користи како суровина за процесот на хемиско таложење на пареа (CVD) на метален волфрам во електронската индустрија. WSi2 направен од WF6 може да се користи како материјал за ожичување во големи интегрирани кола (LSI), а може да се користи и како суровина за полупроводнички електроди, флуорни суровини за хемиски агенси, катализатори за полимеризација, оптички материјали итн.